1.電子潔凈廠房的電氣設(shè)計
電子沽凈廠房電氣設(shè)計一般包括電力系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)及防雷接地系統(tǒng)，各系統(tǒng)與其它專業(yè)相互配合，是電子潔凈廠房安全生產(chǎn)不可缺少的因素。
2.電子潔凈廠房電力系統(tǒng)
2.1確定負荷分級
根據(jù)室外消防水量確定消防設(shè)備的負荷等級，根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定工藝設(shè)備的負荷等級，選用合理的供電方式。電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備，設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置。
2.2特殊電壓設(shè)備
電子潔凈廠房中有些工藝設(shè)備是特殊電壓，根據(jù)特殊電壓設(shè)備分布及種類，確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。
2.3配電系統(tǒng)
電子潔凈廠房工藝設(shè)備、動力設(shè)備、照明設(shè)備配電系統(tǒng)分開，一般采用放射式、樹干式結(jié)合的配電方式分別進入設(shè)備或電力、照明配電箱。在設(shè)計時與業(yè)主充分溝通，選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。
2.4設(shè)備選擇
沽凈室的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備。配電箱可暗裝在回風夾道或灰區(qū)內(nèi)。利用箱內(nèi)的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護，并采用手動斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。
在腐蝕性區(qū)域內(nèi)各類電氣設(shè)備及附件如支架、螺母等都應(yīng)選用防腐蝕材料。防爆房間內(nèi)電氣設(shè)備防爆等級符合規(guī)范要求，在爆炸危險環(huán)境內(nèi)，電氣設(shè)備的金屬外殼應(yīng)可靠接地。
2.5導線選擇和線路敷設(shè)
潔凈室為密閉空間，一旦出現(xiàn)火情時煙氣不易排出，為確保工作人員的安全和健康，一般采用低煙無鹵電纜。
為保證潔凈生產(chǎn)區(qū)的潔凈度，橋架、母線在技術(shù)夾層敷設(shè)。電纜在有橋架處在橋架內(nèi)敷設(shè)，出橋架后穿鍍鋅鋼管敷設(shè)。由于沽凈廠房各專業(yè)管線較多，在設(shè)計時需與其他專業(yè)管道協(xié)調(diào)，做到清晰合理，方便使用和檢修。
由非凈化區(qū)進人凈化區(qū)和不同級別凈化區(qū)之間的電氣管線，應(yīng)在穿墻處和管口處做好密封處理，穿越防火墻的電氣線路均在出入口處作防火和密封處理。腐蝕間配電線路穿PVC管保護，支架等電氣附件均刷防腐涂料或選用防腐蝕材料。所有穿過防爆區(qū)場所內(nèi)的隔墻的管線，穿厚壁鍍鋅鋼管敷設(shè)，且其鋼管與墻板間的縫隙均應(yīng)按防爆施工要求做好密封。
2.6配電設(shè)備的安裝方式
在清凈區(qū)內(nèi)配電箱在灰區(qū)、回風夾道處安裝。安裝于回風夾道內(nèi)的配電箱箱體到位后，再按照配電箱的實際尺寸在金屬壁板上開洞。安裝于回風夾道的配電箱進線處需密封處理。
3.電子潔凈廠房照明系統(tǒng)
電子潔凈廠房照明分為一般照明、備用照明和應(yīng)急照明。為保證潔凈生產(chǎn)區(qū)的潔凈度，潔凈廠房采用潔凈室專用的潔凈燈具，燈具安裝時，要密封處理好，便于更換燈管、清掃，防止灰塵進入沽凈室。當采用FFU龍骨時，照明燈具一般選擇配合FFU龍骨使用的燈具，避開風口，便于安裝。由于潔凈室照度要求較高，且風口較多，潔凈區(qū)的照明光源采用高效熒光燈，所有燈具均采用節(jié)能光源，對感光度有要求的生產(chǎn)場所(如光刻區(qū))采用黃色光源。潔凈區(qū)主要生產(chǎn)用房一般照明照度值為300~500x，輔助區(qū)照度值為200~300Lx，電氣設(shè)計時需要與工廠使用部門溝通確認，以達到使用方的要求。備用照明作為正常照明的一部分，且不應(yīng)低于該場所一般照明照度值的20%。生產(chǎn)廠房內(nèi)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明，其照度不低于5.0lx。在安全出人口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置疏散標志。在專用消防口設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。生產(chǎn)廠房技術(shù)夾層內(nèi)管道多且復雜，應(yīng)設(shè)置檢修照明，便于檢修人員使用。動力站燈具設(shè)置在管道下方避免被管道遮擋。
4.電子潔凈廠房自動控制系統(tǒng)
電子潔凈廠房應(yīng)設(shè)置集散式自動控制系統(tǒng)，并具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。在空調(diào)機房內(nèi)設(shè)置現(xiàn)場控制器，對凈化空調(diào)系統(tǒng)等設(shè)備的開關(guān)及運行狀態(tài)自動監(jiān)測或控制。
冷凍站內(nèi)冷水機、冷凍冷卻水泵、冷卻塔等設(shè)備可設(shè)置智能管理節(jié)能群控系統(tǒng)，通過群控系統(tǒng)和安裝變頻器對系統(tǒng)中設(shè)備的運行及狀態(tài)進行實行全時間的自動監(jiān)測或控制，使系統(tǒng)運行在最佳狀態(tài)，提高運行效率，達到節(jié)能、提高安全可靠性、節(jié)省人力及延長設(shè)備壽命。
冷凍機、空壓機等自帶控制柜的系統(tǒng)設(shè)備廠家應(yīng)在其控制柜內(nèi)預(yù)留通訊接口并要求公開通信協(xié)議，以便接人全廠自動控制系統(tǒng)。儀表位號命名規(guī)范、人機界面等軟件設(shè)置，控制系統(tǒng)承包商應(yīng)與設(shè)備制造商協(xié)調(diào)以保證全廠統(tǒng)一。
5.電子潔凈廠房接地系統(tǒng)
電子沽凈廠房防雷接地與設(shè)備的工作接地、保護接地等共用接地網(wǎng)，接地電阻不大于1Ω。
潔凈廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接；導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應(yīng)做靜電接地。潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)做防靜電接地；潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或者粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。
電氣設(shè)計中需要與工廠使用部門溝通，確定設(shè)備防靜電接地、信號接地、屏蔽接地、設(shè)備獨立接地的要求。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的問距，并且做好爆炸環(huán)境的防靜電接地、氫氣管道防靜電接地以及氧氣管道防靜電接地。
結(jié)束語
在電子沽凈廠房設(shè)計中，作為電氣設(shè)計人員，一定要把握理解規(guī)范要求，安全有效進行設(shè)計，同時兼顧合理性和經(jīng)濟性，來確保電子潔凈廠房中電氣設(shè)備的正常使用，使其發(fā)揮更大的作用。
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