集成電路潔凈廠房是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風機過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的...
IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小,所以對溫濕度的精度要求很高,通常溫度精度為土0.3~±0.5℃,相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統(tǒng),在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對濕度由新風機組保證,溫度由干表冷器保證。一、新風處理及相對濕度保證新風處理機組中設(shè)置初、中、高效三級過濾,以去除室外空氣中的灰塵粒子,設(shè)高效過濾器很有必要,可以延長潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過濾器的使用壽命;設(shè)置化學(xué)過濾器主要...
一、安全保證措施1.在項目經(jīng)理領(lǐng)導(dǎo)下,以施工現(xiàn)場專職安全員為首,組織各施工隊、組,各工種的兼職安全員,成立現(xiàn)場安全管理小組,負責全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導(dǎo)、監(jiān)督和管理2.加強對職工的安全思想教育,提高職工“安全第一、預(yù)防為主”的方針的認識,讓每個職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責”。組織現(xiàn)場職工學(xué)習,貫徹建筑安裝安全技術(shù)操作規(guī)程,對不同工種分別學(xué)習有關(guān)安全規(guī)程,堅決貫徹執(zhí)行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓(xùn)的人員,不得上崗作業(yè)”。與每個職工簽訂安...
一、相關(guān)設(shè)計及規(guī)范要求(1)進入施工現(xiàn)場的所有設(shè)備、主要材料及配件都應(yīng)有產(chǎn)品合格證或質(zhì)保書,設(shè)備應(yīng)有銘牌,不合格的嚴禁進場使用(2)各類吊、支托架、管道、風管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應(yīng)嚴格除銹并刷防銹漆(埋地應(yīng)刷兩度防銹漆),竣工前應(yīng)刷面漆,各類管道的色標應(yīng)按設(shè)計或規(guī)范要求執(zhí)行,并在主干管上標有流向標記(3)室內(nèi)給水支管(管徑20及以下)的安裝,管道在轉(zhuǎn)角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應(yīng)設(shè)管卡,管卡必須安裝牢固,水管管徑在40及以上的,應(yīng)采用U型鋼、U字螺栓...
一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時應(yīng)根據(jù)圖紙設(shè)計的要求進行。管道活動支、吊架的具體形式和設(shè)置位置根據(jù)現(xiàn)場實際情況確定。安裝前,先定位放線,根據(jù)設(shè)計要求及規(guī)范選用支、吊架材料。管道支、吊架設(shè)置于保溫層外部,在穿過支、吊架處應(yīng)鑲以墊木。支吊架制作、組對時先點焊,檢查合格后方可正式焊接,使支、吊架的型式、材質(zhì)、加工尺寸及焊接符合規(guī)范要求,制作完成后及時進行防銹處理。安裝時應(yīng)根據(jù)設(shè)計要求進行放線并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關(guān)標準的規(guī)定。支吊架應(yīng)牢固緊密的固定在墻、柱...
施工工序:通風技術(shù)、物資準備→圖紙交底→洞、孔預(yù)埋→風管制作→管道安裝→設(shè)備安裝→設(shè)備調(diào)試→風量平衡測試→系統(tǒng)調(diào)試交驗一、相關(guān)設(shè)計及規(guī)范要求(1)空調(diào)通風管道的鍍鋅鋼板厚度按照現(xiàn)行規(guī)范執(zhí)行。風管的彎曲半徑為0.5A(A為轉(zhuǎn)彎邊邊長);(2)風管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式,具體情況視現(xiàn)場實際情況而定;(3)空調(diào)風管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時,應(yīng)在平臺設(shè)置卡具,使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm,對角線誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm;(...
施工工序:電氣技術(shù)、物資準備→圖紙交底→管路預(yù)埋→配電柜(箱)安裝→橋架、保護管敷設(shè)→電線電纜、母線敷設(shè)→燈具、器具安裝→設(shè)備、器具安裝→送電、單體調(diào)試→系統(tǒng)調(diào)試交驗一、防雷接地系統(tǒng)該工程利用基礎(chǔ)鋼筋作接地體,基礎(chǔ)內(nèi)不少于2根主筋焊接連通形成環(huán)網(wǎng),并與樁內(nèi)鋼筋連接。屋面防雷裝置通過引下線(柱內(nèi)主筋)與基礎(chǔ)接地網(wǎng)連通。配電間設(shè)總等電位端子箱MEB,由—25*4鍍鋅扁鋼從接地網(wǎng)引至。(1)接地體(線)的連接應(yīng)采用搭焊接,其長度必須滿足:扁鐵寬度為2倍(至少三個棱邊焊接);圓鋼直徑...
隨著電子技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越多地應(yīng)用于各類生產(chǎn)生活領(lǐng)域。與之相適應(yīng),電子生產(chǎn)廠房的修建也與日俱增。其中的接地技術(shù)較常規(guī)的建筑接地種類繁多,涉及面廣。接地系統(tǒng)根據(jù)用途具體可分為電源系統(tǒng)接地、電氣保護接地、防靜電接地、信息系統(tǒng)的接地、電子設(shè)備接地、防雷接地幾個種類。1、電源系統(tǒng)接地在某電子廠房設(shè)計中使用TN-S系統(tǒng)。變壓器中性點接地,系統(tǒng)的保護線與中性線完全分開,這種方式對供電、保護、經(jīng)濟合理性等均十分有利,其選擇原則與常規(guī)建筑一致。對于傳達室等距離主體建筑較遠的零星建筑單...
一、微電子廠房特點隨著科技技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異,以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?,F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化高純度、高質(zhì)量和高可靠性,以人們熟悉的手機、筆記本電腦為例,它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過程都要求在受控環(huán)境條件下進行操作。根據(jù)生產(chǎn)要求對室內(nèi)空氣的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數(shù)進行控制的生產(chǎn)廠房。微電子廠房與其他工業(yè)廠房相比,空氣潔凈度等級高氣流方式大部分為單向流、送風量大、室內(nèi)溫濕度要求高、噪聲...
一、凈化空調(diào)設(shè)備安裝施工質(zhì)量驗收的通用要求。1齊全的隨機文件,既代表了產(chǎn)品的內(nèi)涵質(zhì)量,又是安裝、運行的依據(jù),相關(guān)各方均應(yīng)十分重視。2設(shè)備的開箱檢查、驗收是設(shè)備交接、安裝的重要環(huán)節(jié),應(yīng)根據(jù)具體工程情況確定由建設(shè)方和有關(guān)方共同進行,并認真做好開箱、驗收記錄。3設(shè)備的搬運、吊裝、就位是設(shè)備安裝中十分重要的環(huán)節(jié),特別是大型、特殊結(jié)構(gòu)的凈化空調(diào)設(shè)備,規(guī)范規(guī)定中強調(diào):①應(yīng)符合產(chǎn)品說明書要求,做好相關(guān)保護工作,防止設(shè)備損壞,這是確保設(shè)備安全搬運、吊裝、就位和在此過程人身安全的基本要求;②應(yīng)...